顧名思義,勻膠機(jī)是把膠均勻地涂在基片上的一種機(jī)器。方法很多，有滾涂，浸涂，噴涂，旋涂等，各有優(yōu)缺點(diǎn)。不同的應(yīng)用采取不同的涂膠方法。其中旋涂用得蕞多，那是因?yàn)樗苋〉棉└叩木鶆蛐裕前雽?dǎo)體微電子領(lǐng)域里光刻工藝的通用的方法。

　　勻膠機(jī)主要關(guān)鍵元器件由美國進(jìn)口，整機(jī)裝配在國內(nèi)安裝調(diào)試完成。該機(jī)2002年已通過CE認(rèn)證，其抗干擾以及干擾性都較其他非CE產(chǎn)品要好。該性能的具體表現(xiàn)為：當(dāng)該勻膠機(jī)在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，它不影響同處一室的其他設(shè)備，以保證其他設(shè)備的正常使用（如指針不漂移等受干擾后有影響的反應(yīng)）；同時(shí)它本身也不會(huì)受到其他同處一室的設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的磁場的干擾，從而保證實(shí)驗(yàn)效果的穩(wěn)定性和可靠性。

　　工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上，勻膠機(jī)常用于各種溶膠凝膠（Sol-Gel）實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。可以設(shè)定多達(dá)20個(gè)程序段來存儲(chǔ)不同材料的制備過程，每個(gè)程序段都能設(shè)定51步速度改變，當(dāng)前參數(shù)具斷電保護(hù)功能。

　　勻膠機(jī)屬下列狀況之一時(shí)，需要對抽氣室進(jìn)行清潔：

　　1. 正常使用三個(gè)月的；

　　2. 膠被吸入抽氣室的；

　　3. 電機(jī)轉(zhuǎn)速不穩(wěn)定或被卡住轉(zhuǎn)不動(dòng)的。

　　清潔的辦法是順次取下勻膠機(jī)片托，松開光電盤上的緊固頂絲，取下光電盤、上密封環(huán)、抽氣室、下密封環(huán)、彈簧，用脫脂棉蘸酒精或丙酮擦洗潔凈，再順次裝上彈簧、下密封環(huán)、抽氣室、上密封環(huán)、光電盤。旋緊緊固頂絲。